當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > EVG光刻機 >
產(chǎn)品分類
Product Category相關(guān)文章
Related Articles
EVG620 NT-掩模對準光刻機系統(tǒng)EVG ® 620 NT提供國家的本領(lǐng)域掩模對準技術(shù)在小化的占位面積，支持高達150毫米晶圓尺寸。
更新時間：2025-10-22
型號：
廠商性質(zhì)：代理商
瀏覽量：10247
光刻機Track系統(tǒng)通過集成的生產(chǎn)系統(tǒng)和結(jié)合掩模對準和曝光以及集成的預(yù)處理和后處理的高度自動化功能，*了EVG光刻機產(chǎn)品系列。HERCULES光刻機Track系統(tǒng)基于模塊化平臺，將EVG已建立的光學(xué)掩模對準技術(shù)與集成的清潔，光刻膠涂層，烘烤和光刻膠顯影模塊相結(jié)合。將HERCULES平臺變成了“一站式服務(wù)”，在這里將經(jīng)過預(yù)處理的晶圓裝載到工具中，然后將結(jié)構(gòu)化的經(jīng)過處理的晶圓退回。
更新時間：2026-04-27型號：EVG HERCULES廠商性質(zhì)：代理商瀏覽量：7523
?新型IQ Aligner NT具有高強度和高均勻度的曝光光學(xué)器件，新的晶圓處理硬件，可實現(xiàn)全局多點對準的200mm和300mm晶圓全覆蓋范圍以及優(yōu)化的工具軟件，從而使生產(chǎn)率提高了2倍與EVG上一代IQ Aligner相比，對準精度提高了2倍。該系統(tǒng)超越了晶圓凸塊和其他后端光刻應(yīng)用的蕞苛刻要求，同時與競爭系統(tǒng)相比，擁有成本降低了30％。
更新時間：2025-12-26型號：EVG IQ Aligner NT廠商性質(zhì)：代理商瀏覽量：3799
EVG610-單面、雙面光刻系統(tǒng) EVG光刻機EVG®610是一款緊湊型多功能研發(fā)系統(tǒng)，可處理零碎片和大200 mm的晶圓。
更新時間：2025-09-04型號：廠商性質(zhì)：代理商瀏覽量：4389
EVG6200 NT掩模對準光刻系統(tǒng) 特色：EVG ® 6200 NT掩模對準器為光學(xué)雙面光刻的多功能工具和晶片尺寸高達200毫米。
更新時間：2025-09-04型號：廠商性質(zhì)：代理商瀏覽量：5231
IQ Aligner 自動掩模對準系統(tǒng) 用于自動非接觸近距離掩模對準光刻，進行了處理和優(yōu)化，用于晶圓片的尺寸高達200毫米。
更新時間：2025-09-04型號：廠商性質(zhì)：代理商瀏覽量：3957