GrazingMaster600平面度測量儀專業(yè)為微米級平面度平面零件制造商提供納米級的表面平整度測量功能。采用非接觸式光學(xué)干涉技術(shù)快速測量零件的整個表面，可以幫助用戶快速評價從光滑到粗糙平面的平面度誤差，尤其適合非鏡面類平面表面的納米級平面度精密測量。同時，系統(tǒng)集成白光干涉三維測量顯微鏡，可以同步實現(xiàn)精密平面表面微觀粗糙度和微結(jié)構(gòu)的三維測量。

檢測原理

掠入射干涉儀利用掠入射光線與表面相互作用，通過測量反射光的干涉圖案來獲取表面的形狀信息。這種方法特別適用于非鏡面精密平面的平面度測量，因為掠入射光線能夠更好地覆蓋表面的微小變化，在非鏡面平面上實現(xiàn)干涉條紋對比度。結(jié)合高穩(wěn)定性相移干涉測量實現(xiàn)非鏡面平面樣品的納米級分辨率平面度測量。

GrazingMaster集成精密運動平臺，少量幾次拼接可以完成300-600mm口徑樣品的全口徑測量。

產(chǎn)品優(yōu)勢

平面度測量分辨率達到10nm量級，解決三坐標(biāo)測量分辨率難以滿足微米級平面度精密平面測量要求的難題

非接觸測量：避免傳統(tǒng)接觸式測量儀對精密表面的損傷風(fēng)險

全口徑采樣：高密度成像式采樣可以解決點測式和線掃式測量遺漏局部平面度異常的風(fēng)險

大口徑測量能力：通過少數(shù)幾次拼接即可完成300mm-600mm口徑的全口徑測量，測量效率高，同時精度更加可靠

白光干涉顯微模組具備納米級縱向分辨率，覆蓋光滑到粗糙各種表面的粗糙度精確測量，同時可以測量平面上微凸點和微孔等微結(jié)構(gòu)的三維測量

一臺設(shè)備滿足精密平面零件的關(guān)鍵宏觀輪廓精度（平面度）和微觀輪廓精度（粗糙度，臺階高度和孔深）測量需求，測量功能全面，效率高

適用對象

各類非鏡面和鏡面精密平面

?CMP化學(xué)機械拋光頭

?晶圓/玻璃基板研磨盤

?半導(dǎo)體精密零部件

?半導(dǎo)體真空吸盤 （微孔陶瓷，金屬）

?精密軸承和發(fā)動機缸體端面