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簡要描述：晶圓或者基板內(nèi)應(yīng)力高精度高解析度定量測量和缺陷檢測
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：代理商產(chǎn)品資料：更新時(shí)間：2026-07-27訪 問 量： 115產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
晶圓或者基板內(nèi)應(yīng)力高精度高解析度定量測量和缺陷檢測
采用自主的雙遠(yuǎn)心檢測光路，確保內(nèi)應(yīng)力測量結(jié)果準(zhǔn)確可靠
高分辨成像:橫向解析度，可精確定位微小缺陷
具備微管、包裹物、夾雜、氣泡等晶圓缺陷的快速檢測識別和顯微復(fù)查功能
光學(xué)延遲
方位角
內(nèi)應(yīng)力
微管
微裂紋
硅、碳化硅、氮化鎵、藍(lán)寶石、砷化鎵、磷化錮、碲鋅鎘、石英、玻璃等各種透光材料襯底品圓及外延片
硅、碳化硅、氮化鎵、藍(lán)寶石、砷化鎵、磷化錮、碲鋅鎘、石英、玻璃等各種透光材料襯底品圓及外延片
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