薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備

簡(jiǎn)要描述：美國(guó)FSM 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備：在襯底鍍上不同的薄膜后, 因?yàn)閮烧卟馁|(zhì)不一樣，以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會(huì)引起應(yīng)力。如應(yīng)力太大會(huì)引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問(wèn)題。薄膜應(yīng)力激光測(cè)量?jī)x利用激光測(cè)量樣本的形貌,透過(guò)比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計(jì)算出應(yīng)力, 是品檢及改進(jìn)工藝的有/效手段。

產(chǎn)品型號(hào)：FSM 128
廠商性質(zhì)：代理商
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更新時(shí)間：2026-05-25
訪問(wèn) 量： 9958

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美國(guó)FSM 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備

在襯底鍍上不同的薄膜后, 因?yàn)閮烧卟馁|(zhì)不一樣，以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會(huì)引起應(yīng)力。如應(yīng)力太大會(huì)引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問(wèn)題。薄膜應(yīng)力激光測(cè)量?jī)x利用激光測(cè)量樣本的形貌,透過(guò)比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計(jì)算出應(yīng)力, 是品檢及改進(jìn)工藝的有/效手段。

1) 快速、非接觸式測(cè)量

2) 128型號(hào)適用于3至8寸晶圓

128L型號(hào)適用于12寸晶圓

128G 型號(hào)適用于470 X 370mm樣品，

另可按要求訂做不同尺寸的樣品臺(tái)

3) 雙激光自動(dòng)轉(zhuǎn)換技術(shù)

如某一波長(zhǎng)激光在樣本反射度不足，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)使用

另一波長(zhǎng)激光進(jìn)行掃瞄，滿足不同材料的應(yīng)用

4) 全自動(dòng)平臺(tái)，可以進(jìn)行2D及3D掃瞄(可選)

5) 可加入更多功能滿足研發(fā)的需求

電介質(zhì)厚度測(cè)量

6) 500 及 900°C高溫型號(hào)可選

7) 樣品上有圖案亦適用

美國(guó)FSM 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備 FSM128規(guī)格

測(cè)量方式	非接觸式(激光掃瞄)
樣本尺寸	FSM 128NT: 75 mm to 200 mm FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm FSM 128G: /大550×650 mm
掃瞄方式	高精度單次掃瞄、2D/ 3D掃瞄(可選)
激光強(qiáng)度	根據(jù)樣本反射度自動(dòng)調(diào)節(jié)
激光波長(zhǎng)	650nm及780nm自動(dòng)切換(其它波長(zhǎng)可選)
薄膜應(yīng)力范圍	1MPa — 4 GPa(硅片翹曲或彎曲度變化大于1 micron)
重復(fù)性	1% (1 sigma)*
準(zhǔn)確度	≤ 2.5%使用20米半徑球面鏡
設(shè)備尺寸及重量	FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 50 lbs FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 70 lbs FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 200 lbs
電源	110V/220V, 20A