光學(xué)膜厚儀是一種非接觸式測量儀器，一般會運(yùn)用在生產(chǎn)廠商大量生產(chǎn)產(chǎn)品的過程，由于誤差經(jīng)常會導(dǎo)致產(chǎn)品全部報廢，這時候就需要運(yùn)用光學(xué)膜厚儀來介入到生產(chǎn)環(huán)境，避免這種情況的發(fā)生。
1、光源：寬光譜光源；
2、探測器：高靈敏度低噪音陣列式光譜探測器；
3、控制箱：含電路板、控制單元、電源、光源；
4、輸出設(shè)備：軟件界面支持輸出、輸入光譜數(shù)據(jù)庫。
系統(tǒng)特點(diǎn)：
1、嵌入式在線診斷方式；
2、免費(fèi)離線分析軟件；
3、精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能，幫助用戶有效地存儲，重現(xiàn)與繪制測試結(jié)果；
4、主要為半導(dǎo)體、新能源企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供各類精密進(jìn)口制程及測量設(shè)備。提供全面的一對一*，技術(shù)支持，備件管理和咨詢服務(wù)。
性能特點(diǎn)：
1、快速測量：僅需1-2秒就可以完成一次測量；
2、測量范圍廣：可測量膜厚范圍從15nm-70um；
3、簡潔操作：常規(guī)操作，只需點(diǎn)擊一個按鈕就可完成操作；
4、高效穩(wěn)定：適用于工業(yè)現(xiàn)場，穩(wěn)定可靠；
5、經(jīng)濟(jì)實(shí)用：能夠滿足膜厚的常規(guī)測量，成本較低。
光學(xué)膜厚儀的使用注意事項(xiàng)：
1、零點(diǎn)校準(zhǔn)：在每次使用膜厚儀之前需要進(jìn)行光學(xué)校準(zhǔn)，因?yàn)橹暗臏y量參數(shù)會影響該次對物體的測量，零點(diǎn)校準(zhǔn)可以消除前次測量有參數(shù)的影響，能夠降低測量的結(jié)果的誤差，使測量結(jié)果更加jīng確；
2、基體厚度不宜過?。涸谑褂霉鈱W(xué)膜厚儀對物體進(jìn)行測量時基體不宜過薄，否則會jí大程度的影響儀器的測量精度，造成數(shù)據(jù)結(jié)果不準(zhǔn)確，影響測量過程的正常進(jìn)行；
3、物體表面粗糙程度：對于被測物體的表面不宜太過粗糙，因?yàn)榇植诘谋砻嫒菀滓鸸獾难苌?，降低了光學(xué)膜厚儀的測量精度，造成很大的誤差。所以被測物體的表面應(yīng)該盡量保持光滑，以保證測量結(jié)果的jīng確性。
